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超聲波是頻率為16kHz之上高頻聲波，超聲波去油去銹是依據空化效應基本原理。當超聲波作用于除油液時，因為壓力波(疏密波)的傳遞，使溶液在一瞬之間遭受負應力，而在緊接著的瞬間遭受正應力作用，如此循環功效。當溶液遭受負壓力功效時，溶液中會產生瞬間的真空，形成空洞，溶液中蒸汽和溶解的氣體將進入里面，變為氣泡。氣泡形成之后的瞬間因為受到正壓力的作用，氣泡受壓裂開而分散，另外在空洞周邊形成千余大氣壓的沖擊波這類沖擊波能沖刷零部件表層，使得油漬脫離。超聲波除油除銹，就是通過了沖擊波對油膜的破壞功效及空化狀況形成的強烈攪拌功效。超聲波去油去銹的成效與部件的樣式、外形尺寸、表層油漬特性、溶液成份、部件的擺放具體位置等相關，因而，理想的超聲波去油去銹工藝需要通過試驗判定。超聲波去油去銹所使用的頻率通常為30kHz上下。
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